PFCT微流控芯片模具是一種用于PDMS芯片澆筑的模具，具有壽命長，結(jié)構(gòu)精度高，澆筑成型便捷等優(yōu)點(diǎn)。PFCT模具結(jié)合了PMMA和SU8硅片模具的優(yōu)點(diǎn)，既有PMMA模具的壽命，又有SU8模具的精度。在批量澆筑成型芯片中不可替代。
模具制作流程：
1、光刻加工：按照光刻工藝流程加工出來高精度模具，這里同樣需要掩膜，光刻膠，顯影液等完成初步模具的加工。
2、翻模：用上述加工的模具結(jié)構(gòu)翻模出來PDMS過渡層；
3、PFCT采用一定比例調(diào)制而成，用PDMS過渡層再次翻模PFCT，可以得到精度好、更耐用PDMS微流控芯片模具。
外觀結(jié)構(gòu)描述：
1、模具稍有透明度，可透光檢查模具效果及內(nèi)部結(jié)構(gòu)；
2、模具厚度可以根據(jù)工藝調(diào)整，一般建議厚度1-2mm即可；
3、加工成型的外形和硅片類似，成圓形也有切邊，上下平整。
功能優(yōu)點(diǎn)：
經(jīng)過測(cè)試PFCT模具澆筑PDMS脫模簡單，PDMS結(jié)構(gòu)和SU8模具翻模的效果一致，使用過程中模具不會(huì)碎裂，無圖案破損等異常，基本是無限次翻模。且表面清潔便捷，重復(fù)可靠使用。PFCT是批量生產(chǎn)的福音，值得擁有。
常見澆筑PDMS的成型的模具
PDMS澆筑成型的關(guān)鍵是模具，目前主流的模具有：SU8光刻膠模具，PMMA模具，金屬模具等。
SU8模具主要通過微納光刻技術(shù)在硅片上做出光刻膠凸起圖案，特點(diǎn)是可以做出比較精密的微小流道，且側(cè)壁光滑，澆筑PDMS透光度好，目前比較主流的微流控模具就是SU8模具。缺點(diǎn)就是模具在硅片基底上加工，易碎，壽命比較有限。
PMMA模具和金屬模具對(duì)于結(jié)構(gòu)尺寸稍大的流道是加工的首選，成本比較低，但是對(duì)于100um以下的結(jié)構(gòu)很難做出來精密的結(jié)構(gòu)。